5nm工藝起飛 ASML宣布新的半導體技術
發布日期:2020-06-11        



提到荷蘭ASML公司,大家都知道他們是全球僅有的EUV光刻機供應商,7nm及以下的工藝生產都要靠他們的設備。不過ASML不只是光刻機厲害,今天他們宣布了另外一個新產品——第一代HMI多光束檢測機HMI eScan1000,適用于5nm及更先進工藝,使得產能大漲600%。
 
  
半導體指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料。半導體在收音機、電視機以及測溫上有著廣泛的應用。如二極管就是采用半導體制作的器件。半導體是指一種導電性可受控制,范圍可從絕緣體至導體之間的材料。今日大部分的電子產品,如計算機、移動電話或是數字錄音機當中的核心單元都和半導體有著極為密切的關連,因此,半導體技術也要隨之提成。
 
  
據悉,隨著制程工藝不斷提升,晶圓的制造也越來越復雜,這也會導致晶圓中的錯誤更多,HMI eScan1000就是一套基于HMI多光束技術的檢測系統,內部也有復雜的光電子系統,能夠產生、控制多個電子束,然后根據反射回來的電子束成像來分析晶圓質量,并有高速運行的平臺以控制測試的晶圓數量,還要有計算系統處理電子束的數據。
 
  
簡單來說,ASML研發的這個HMI eScan1000機器就是一臺驗證先進工藝生產出來的晶圓質量的系統,工藝越先進,檢測系統就越重要,它的檢測精度、吞吐量決定了生產的效率。
 
  
ASML的HMI eScan1000的突破之處在于能夠同時產生、控制九道電子束,所以產能提升了600%,可以大大減少晶圓質量分析所用的時間。
 
  
目前HMI eScan1000可以用于5nm及以下先進工藝的晶圓測試,已經交付給客戶進行測試驗證,未來ASML還會推出光束更多的測試設備以滿足客戶對先進工藝的要求。
 
 

來源:中國儀表網
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